半导体专业的创建和发展

陈启秀 口述

1952年，全国高等院校院系调整，浙江大学原有的无线电等相关专业被调往教育部兄弟高校［主要为南京工学院（现东南大学）］。1957年6月，为适应产业发展趋势，响应国家发展需要与赶超号召，浙江大学开始筹建半导体专业，从电机系抽调教师组成其师资队伍。1958年4月，经教育部批准，浙江大学正式设立半导体材料与器件专业，成为我国首批设立半导体专业的六所工科院校之一。

1960年，浙江大学电机系撤销电气绝缘与电缆技术专业，并将其1957级、1958级、1959级的学生全部并入无线电系的半导体专业，陈启秀老师和阙端麟老师负责半导体专业筹办工作。

1960年9月，学校正式发文批准成立无线电电子工程学系。12月，为了保密，停止使用原来的系和专业名称，一律改用代号，无线电系为8系，无线电、电真空、半导体专业代号分别为801、802、803。

半导体材料与器件专业建立教研组后，发动全体教师群策群力研讨创业之路。最终，专业决定双管齐下：负责器件课程的教师抓好按教学计划制定的专业课教学和实验室建设工作，负责材料课的教师集中精力搞硅材料科研，尽快实现“教学过关，科研出成果”的专业开办起步目标。

本着对学生负责的态度，本专业年轻的教师团队有着坚定的决心，通宵自学，相互研讨，一同备课，共同研究并改善教学方法，以提高讲课效果。除此之外，为提高学生的设计和动手能力，教师们发动学生参与搭建实验室，共同攻克教学中的实验难关。教师们的刻苦努力不仅实现了自己的教学理想，也培养了得到社会好评的浙大半导体专业学子。

教学过关后，本专业的科研成果日渐丰富。阙端麟老师领导的研究用SiH4法制备高纯度硅的课题组，和本专业首届毕业的姚奎鸿老师等组成的团队，经过不断努力，陆续成功完成了SiH4法制取多晶硅的试验、拉制单晶硅的研究、硅外延的研究，并建立起半导体材料车间。浙大半导体专业的硅材料研究，在国内具有很高的知名度和显明的研究特色。

在器件研究方面，1964年起，本专业开始进行高压硅堆研究、背扩散技术研究，并承接省部级项目：超高压硅大功率管研发、硅外延高压平面大功率管试制、硅达林顿功率管试制以及硅功率管的二次击穿和可靠性研究。20世纪70年代初，浙大半导体器件专业已初现特色，其大功率器件及其可靠性在国内较有影响。陈启秀老师多次受邀在全国性会议或工厂做关于二次击穿的学术报告。1976年，本专业开始了对双极性集成电路的研究，本专业首届毕业生叶润涛作为改革开放后的第一位赴美访问学者，在回国后参加了国家重点项目“熊猫集成电路CAD系统”会战，该项目后来获机电部科技进步一等奖。

20世纪70年代末，陈启秀老师利用本专业实验室的条件，研究了用V形槽的结构制造功率型MOS-FET，并顺利完成了这个项目，拿到了中科院“科技进步二等奖”。这个项目使得被国际公认只能处理信号的MOS-FET划时代地可以做到处理大功率变换，这一成果先后被《人民画报》《解放日报》等报道。V-MOSFET项目和天津半导体四厂合作，试制V-MOSFET大功率管并获得成功，得到了天津市政府颁发的科技一等奖。随后，实验室又陆续进行了VD-MOSFET和IGBT等大功率器件的研究。1990年，浙大功率器件研究所研发的VDMOS大功率场效应晶体管被国家科学技术委员会等四家单位联合评为1990年度国家级新产品。

1979年，当时的浙大校长刘丹出国考察后发现材料科学是发展所趋，就将阙端麟创建的半导体材料教研室与机械系的金相专业合并组建成材料科学专业，原半导体专业的材料部分并入新成立的浙大材料工程系。本专业改名为半导体器件与物理专业，于1979年开始招收硕士研究生，并于1980年首次派遣学者赴美访问，之后邀请中科院半导体研究所所长王守觉院士任兼职教授。

1982年，因半导体光电子学科的发展需要，原专业中的半导体光电子技术教师团队组建成立了浙江大学半导体光电子技术专业，该专业和原半导体器件与物理专业共同于1984年获批准设立微电子学与固体电子学硕士学位授权点。1993年，微电子学与固体电子学博士学位授权点获批。

值得一提的是，浙大半导体教研室和菱湖晶体管厂在多年合作的基础上，共同建议成立半导体科教生产联合体，以使教学科研与振兴我国半导体工业紧密结合，实现培养学生和提高企业经济效益的双赢目的。经双方领导批准，1984年6月2日，浙江大学菱湖晶体管厂半导体科教生产联合体正式成立，这也得到浙江省计经委、浙江省科委、浙江省电子工业局、湖州市政府的支持，有关省市领导（浙江省电子工业厅王建华厅长、湖州市政府有关负责人）参加了成立大会，浙大韩桢祥校长和校党委副书记周文骞也参加了大会。陈启秀任联合体主任。国务院科技领导小组组长、国家经委经济研究中心负责人先后于1985年、1986年到联合体视察并给予肯定。1989年，本专业的研究所成立，根据胡建雄副校长建议，被命名为浙江大学功率器件研究所。1991年，联合体在浙大盖起了半导体科研大楼。本专业举行功率器件研究所大楼落成典礼时，顾伟康副校长、陈抗生系主任均到会祝贺。该大楼就是现在的微电子楼。

整理人：2013级电子科学与技术专业本科生 马涵之